產品概述
磁控濺射是在陰極靶表麵上方形成一個正交電磁場,當濺射產生的二次電子在陰極為降區內加破加速為高能電子後,並不直接飛向陰極而是在正交電磁場作用下作來回振蕩運動,在運動中高能電子不斷的與氣體分子發生碰撞,並向後者轉移能量,使之電離而本身變為低能電子,消除了高能電子對基體的轟擊。
技術參數
設備型號 |
VLT-1000 |
VLT-1200 |
VLT-1300 |
鍍膜室尺寸 |
Φ1000×1250 |
Φ1200×1250 |
Φ1300×1500 |
極限真空度 |
10-4Pa |
10-4Pa |
10-4Pa |
抽氣時間 |
空載常溫抽至5×10-3Pa<10min |
膜厚儀 |
配置振測厚儀 |
蒸發源 |
電阻蒸發 |
學生靶 |
一對(中頻) |
圓柱靶 |
一支 |
高壓轟擊 |
3000V 600MA |
3000V 600MA |
3000V 300MA |
工件偏壓 |
1000V 20A 500 40A |
1000V 20A 500 40A |
1000V 30A 500 60A |
工件旋轉方式 |
單/6/8轉公自轉行星式齒輪結構 |
配置機組 |
K-600、ZJP300 |
K-600、ZJP300 |
K-800、ZJ600 |
2X-70 |
2X-70 |
2X-70 |
充氣係統 |
氣體質量流量控製儀 |
烘烤溫度 |
350℃ |
控製係統配置 |
自控控製PLC及觸摸屏 |
說明:帶*配置由用戶退配,並可由用戶訂選造其他規格
設備原理圖示
磁控濺射鍍膜原理圖
在適當的真空環境下充入一定量的氣體(如氬氣)加上60千瓦的直流電源時會產生幾百伏的高電壓產生電弧,在電弧環境下離子和電子並同靶材衝突產生鍍膜效果。
設備特性
生產同期:生產同期短—60sec/1同期(幹燥無大量放氣產品條件)
鍍膜材料:適用各種金屬鍍膜(鋁、鎳、銅、鉻……等金屬材料)
鍍膜方式:金屬濺射鍍膜和保護鍍膜連續完成(鍍膜後不需要其他防氣化處理)
鍍膜品質:亮度高,附著力強,光潔度好的產品注塑後可以直接鍍膜不需要底塗
鍍膜速度:兩個60KW大功率磁控濺射電極,瞬間快速大範圍鍍膜
除濕能力:真空室內裝有零下140度以下的低溫冷凍係統,充分吸收濕氣提高真空到達速度
運營費用:濺射電極是自行開發產品,大大提高了靶材的使用效率
不良品率:省去通常的加工工序(底塗和鋁膜保護漆噴塗)減少不良品
占地麵積:在固定位置進行上料和下料隻要很小的操作空間
操作方法:人機界麵可以直觀的進行設置和監控,設有管理密碼無關人員無法更改
售後服務:設有售後服務中心和配件倉庫,可以快速處理使用中的問題
極間靶磁控陰極
配套了優化的極間靶磁控陰極。對於普通的反射性鍍膜應用而言,該設備將配套工作清潔用的中頻工位、等離子增強化學氣相沉積底層保護鍍膜、高速率濺射蒸發鍍膜、等離子增強化學氣相沉積表層保護鍍膜等相應的膜層工藝室。
全自動工藝控製和整合
設備的硬件和軟件設計可以與客戶生產線的傳送帶進行有機的結合。傳送帶負責將工件架傳送到設備上料工位,從而將工件傳送到設備的鍍膜工位,在工件進入下料工位時,傳送帶接收工件架並將工件傳送到下個生產崗位,設備通過與傳送帶的精確的配合,幫助客戶進一步提高生產效率,降低生產成本和提高產能。
滿足客戶的高生產要求
包括人機對話界麵在內的控製係統可以提供故障診斷、報警功能和數據日誌管理。設備各個組件如陰極、驅動裝置和閥門等的安裝位置充分的考慮到了維護、維修的工作需要。機型的設計、選材和製造充分的反應了唯力特真空設備準則。