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常規配置
► 真空泵係統
低真空泵：旋片式機械泵（蒸壓機械泵：930m3 h-1）
高真空泵：擴散泵（選擇：低溫泵或滑輪分子泵）

► 真空閥係統
型號：3/8”，2”，4”，22“

► 真空室加熱係統
高溫度：0到400℃
型號：滷素燈（選擇：微型加熱器）
基片型號：球麵型或行星型
轉速：0到30轉速/分
軟起，軟停，可調速瀘

► 電子控製係統
型號：計算機控製麵板
可修改和改變任何需要的控製
全程控製鍍膜以達到產品所需的要求
提供所需要的技術信息

► 真空計係統
高真空感應器：2
低真空感應器：1

選擇配置
► 薄膜沉積控製係統
沉積控製：IC-5 （INFICON）
MDC360 （MAXTEK）等等
石英晶髓感應器:1，2，6頭

► 光控離子源
無柵型：直流型
燈絲型：直流型，頻射型

► 電子束源
容量：15cc，25cc，40cc等等
偏轉角度：180度或270度
坩鍋：4，6，8倜等等

► 深冷係統
除霜室
擴散泵

► 水冷卻係統
水或氣冷卻器